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高端定制

精密位移-纳米精度位移角度标定

轴向跳动误差: 转台的旋转轴同轴向发生的误差。

径向跳动误差:转台在指定轴向位置垂直于旋转台旋转轴发生的误差。

倾角误差:为相对于旋转台旋转轴在角度方向上的误差。